Eins og við vitum öll er aðeins einn framleiðandi í heiminum sem getur framleitt EUV steinþrykk, það erASML í Hollandi.
Ástæðan fyrir því að það er aðeins einn framleiðandi í heiminum er sú að ASML hefur tengt marga lykilframleiðendur saman, eins og Zeiss (Zeiss), þýskt ljóstækjafyrirtæki, Cymer (Bandaríkin), ogTRUMPF (Þýskaland).
ASML hefur bundið þessa framleiðendur við vagn sinn með fjárfestingum, kaupum, eignarhlutum, stofnun rannsóknarmiðstöðva og svo framvegis, og þessir framleiðendur eru líklega einu framleiðendurnir í heiminum sem geta framleitt þessar vörur, þannig að á endanum getur aðeins ASML í heiminum framleiða EUV steinþrykk.
Hins vegar, nýlega, hljóp lykilbirgðakeðja ASML til Shenzhen í Kína til að byggja verksmiðju, Shenzhen dótturfyrirtæki þess settist að í Baoan kínversk-þýska (Evrópu) Industrial Demonstration Park.
Þessi framleiðandi er TRUMPF Group í Þýskalandi (TRUMPF), þetta er EUV steinþrykk ASML, eini birgir leysigjafa í heiminum.
TRUMPF vörur í EUV lithography, hversu mikilvægar? Fyrst skaltu hlusta á mig útskýra meginregluna um EUV steinþrykk, þú munt skilja.
Meginreglan um EUV steinþrykk, til að setja það einfaldlega, miðast við þrjú helstu kerfi, EUV útfjólubláa ljósgjafakerfið, hlutspeglakerfið og borðkerfið.
Sértæka ferlið er að nota leysir til að örva 13,5nm bylgjulengd af öfgafullu útfjólubláu ljósi, sem síðan er leiðrétt til að mynda stýrðan ljósgeisla, sem síðan er varpað á ljósmyndagrímuborð áður en honum er varpað í gegnum hlutlægan spegil á lýsingarborð. og að lokum ætið inn í hringrás á sílikonskífu sem er húðuð með photoresist.
Hvernig eitt af EUV UV ljósgjafakerfum er fengið með því að sprengja tini (Sn) málmdropa með 30 kW afl CO2 leysir, gufa upp í plasma og að lokum fá EUV ljós við 13,5 nm bylgjulengd.
Þessi 30 kW CO2 leysir er útvegaður af TRUMPF, þeim eina í heiminum.
Ekki vanmeta þennan CO2 leysir, hann er með 457.329 hlutum, kapallengd í kerfinu er allt að 7.322 metrar og þyngdin er 17.090 kg, sem er einn mikilvægasti kjarnahlutinn í EUV steinþrykk.
Nú hljóp TRUMPF til Kína til að byggja verksmiðju, ætlunin er skýr, það er bjartsýn á kínverska leysirmarkaðinn, og jafnvel langtímasýn, bjartsýn á kínverska steinþrykkjamarkaðinn, framtíðin gæti unnið með Kína til að byggja EUV steinþrykk. .
Reyndar eru nú þegar fleiri en ein ASML aðfangakeðja sem keyrir til Kína til að byggja verksmiðju, það eru KMWE og aðrir framleiðendur, einnig til Kína til að byggja verksmiðju.
Samkvæmt núverandi þróun, getum við bjartsýnn búist við því að það gæti ekki verið langur tími þar til lithography tækni Kína mun vera stórt skref fram á við, og jafnvel magn af framleiðslu EUV lithography, getur líka hlakka til, heldurðu?
