Laser þrif kerfi fyrir PVD tól hreinsun, geta í raun fjarlægja multi lag lag, engin vélrænni skemmdir, engin skemmdir á suðu eða innsigli yfirborði, draga úr upphitun hringrás tíma, engin umhverfis- og efnafræðileg hvarfefni, engin efri mengunarefni Engin þörf á að þrífa, almenn viðbrögð Hreinsun hólfanna er lokið á nokkrum klukkustundum.
Laser þrif tækni getur jafnvel fjarlægt erfiðustu að þrífa gufu fasinn innlán, þar á meðal demantur-eins kolefni húðun og önnur slitþol húðun. Kraftur í búntum leysum gufar þessar "bulletproof húðun". Að lokum er hægt að þrífa nákvæmni málm hvarfefna á öruggan hátt og án skemmda og engin leif eru framleidd. Plasmahólfið getur verið handvirkt eða hálf-sjálfkrafa tekið til meðferðar með öflugri leysingu meðan á hreinsun stendur.
PVD líkamleg gufuútfelling vísar til ferlisins við að flytja efni eða sameind frá uppsprettu til yfirborðs hvarfefnis með líkamlegri ferli. Hlutverk hennar er að gera suma agna með sérstökum eiginleikum (hár styrkur, slitþol, hitaleiðni, tæringarþol, osfrv.) Úða á móðurkvilla minni, þannig að móðir líkamans hafi betri árangur. Í þessu ferli fylgir hins vegar úða skúffulið ekki aðeins við markflötið heldur einnig í sambandi við yfirborð verkfæranna og innréttingarinnar sem notuð eru til að halda hlutunum inni í hvarfkammerinu. The leysir þrif kerfi geta í raun hreinsa yfirborði PVD tól, forðast skaðleg áhrif of mikið PVD húðunarefni, svo sem að draga úr þoli vinnuhópsins, lélega þéttingu viðbrögð kammertónlist, sem leiðir til aukinnar raka og langvarandi upphitun tíma.
