Laserhreinsun er tækni sem notuð er til að fjarlægja mengunarefni úr hálfleiðara skífum og bjóða upp á nákvæma og ekki - snertingaraðferð til að viðhalda hreinleika þessara viðkvæmu íhluta. Það er sérstaklega dýrmætt í framleiðslu hálfleiðara vegna þess að þörf er á óspilltum flötum í framleiðslu rafeindabúnaðar.
https://youtu.be/35wo9j5pxek?Si ({{4/}nnp7tafccqqjavvg
Hvernig það virkar:
Laserhreinsun notar hátt - styrkleika leysir púls til að fjarlægja mengunarefni eins og ryk, leifar eða agnir í gegnum leysir. Laserorkan frásogast af menguninni, sem veldur því að hún gufar upp, sublimate eða verður kastað frá yfirborðinu, en undirliggjandi skífuefnið er að mestu leyti ekki fyrir áhrifum.
Kostir leysirhreinsunar fyrir hálfleiðara skífur:
Nákvæmni:
Lasers geta miðað mengun með mikilli nákvæmni og lágmarkað hættu á skemmdum á viðkvæmri uppbyggingu skífunnar.
Non - Hafðu samband:
Ólíkt hefðbundnum hreinsunaraðferðum, snerta leysir ekki líkamlega skífuna og draga úr hættu á rispum eða broti.
Umhverfisvænt:
Laserhreinsun dregur oft úr eða útrýmir þörfinni fyrir hörð efni sem notuð eru í hefðbundnum hreinsunarferlum.
Fjölhæfni:
Hægt er að stilla mismunandi leysir stillingar fyrir ýmis efni og mengunartegundir.
Sérstök forrit:
Fjarlægja agnir, málmjónir og efnafræðilega óhreinindi úr kísilþurrkum.
Hreinsun yfirborðs yfirborðs og litografígrímur.
Að fjarlægja mengunarefni sem kynnt var við merkingar á leysir.
Dæmi: Rannsókn sýndi fram á að leysirhreinsun gæti fjarlægt agnir af ýmsum stærðum (þar með talið 1 μm wolfram agnir) úr kísilþurrkum með mikilli skilvirkni. Önnur rannsókn sýndi að litlar súrálagnir voru fjarlægðar með því að nota leysir áfallshreinsun.
